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俄歇能谱仪

Microlab 350 型俄歇能谱仪主要用于固态样品表面区域的元素成分、含量及原子化学态的分析。俄歇能谱以电子束为探针检测表面出射的俄歇电子来确定元素成分,并通过俄歇峰的强度确定元素的含量。由于电子束具有优异的空间分辨率,可以通过表面扫描获得样品表面元素的分布信息。通过氩离子枪的刻蚀,可以获得样品随深度变化的元素信息。光电子能谱通过光电子峰的结合能来确定元素成分及化学态,并通过光电子峰的强度确定元素的含量。

1.主要配置有:

场发射电子枪、Ar离子枪、AlMg双阳极X射线源、多维度样品台、真空系统、半球形分析器、探测器等。

2.主要指标:

1).俄歇能谱:

a.束能10KeV,金岛标样SEM像的空间分辨率15nm

b.衰减比2.8,金岛标样能量分辨率0.6%

2).光电子能谱(Mg靶):

功率200W,通过能20eV,银标样的能量分辨率0.85eV

3.样品要求:

1.标明样品编号、主要成分

2.明确待测元素具体能级的俄歇峰或光电子峰;

3.块状或薄膜样品要求表面平整,直径1cm,厚度小于2mm

4.粉末样品为避免导电胶中CO的影响要求压片。

5.磁性样品要求先退磁。