扫描电子显微镜（SEM）

1．主要功能及基本原理

扫描电镜是一种新型的电子光学仪器。它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。数十年来，扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。其基本原理是用极细的电子束在样品表面扫描，将产生的二次电子用特制的探测器收集，形成电信号运送到显像管，在荧光屏上显示物体（细胞、组织）表面的立体构像，并可摄制成照片。

2. 主要技术指标

分辨率：1.0nm(15KV.WD=4.0mm)

1.6nm(1KV.WD=1.5mm,减速模式)

2.5nm(1KV.WD=1.5mm)

放大倍数：低放大倍数模式 20-2,000x

高放大倍数模式 100-800,000x

电子束系统：ZrO/W 肖特基电子枪

电流 1pA-100nA

加速电压 0.5-30KV(标准模式)

着陆电压 0.1-2.0KV(减速模式)

透镜系统：3级电磁线圈系统

物镜光阑：4孔光阑,真空外选择和细调

3.主要特点
1. 100nA的大探针电流，新开发的肖特基电子    枪保证100nA的大探针电流

2. 通用的分析型样品室预留了多种接口，可以   安装以下附件进行分析：EDX,WDX,EBSP,STEM,BSE, CL,超低温台，样品室CCD

3. FF模式可用于在超高分辨率SEM中观察磁性样品及EBSP分析

4. 超高分辨率 1.0nm/15kV，1.6nm/1kV(减速模式)，超高分辨率的获得利用了日立已被检验的半内透镜技术。

5. 超级ExB技术用于控制SE/BSE信号检测，实现消除放电现象及信号混合

6. 超低着陆电压用于浅表面观察(减速模式)，电子束减速技术保证了超低电压的高分辨成像